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超純水處理設(shè)備制備在設(shè)備生產(chǎn)操作過(guò)程中需先檢查整個(gè)設(shè)備有無(wú)異象，各連接管之間是否封閉，謹(jǐn)防滴漏，在檢查完設(shè)備之后打開(kāi)原水(自來(lái)水)閥，開(kāi)啟總電源開(kāi)關(guān)，然后逐步開(kāi)啟原水泵，高壓泵。開(kāi)啟后停留在機(jī)器旁聽(tīng)查一小段時(shí)間看設(shè)備運(yùn)行有無(wú)異常，需觀察設(shè)備蜂房過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器、壓縮活性炭過(guò)濾器、保安過(guò)濾器進(jìn)、反參透設(shè)備出口水的壓力，需保證每個(gè)過(guò)濾設(shè)備進(jìn)出口水壓差在一定范圍內(nèi)(<0.1MPa)，同時(shí)需要控制RO進(jìn)水、中段、濃水的壓力在要求范圍內(nèi)，控制RO（reverse osmosis，反滲透）產(chǎn)水流量、RO回流流量、RO濃水流量并使RO產(chǎn)水的電導(dǎo)率小于20uS/cm。
超純水處理設(shè)備需裝用超純水時(shí)開(kāi)啟增壓泵，打開(kāi)第一個(gè)出水閥，其中需控制好混床進(jìn)出水壓力及精密過(guò)濾器壓力及混床出水的壓力在要求范圍內(nèi)，以保證出水的電阻率大于10MΩ·cm。在此過(guò)程中需注意觀察純水槽中的存水情況，嚴(yán)禁抽空!同時(shí)為防止存水過(guò)多導(dǎo)致水質(zhì)變差，影響混床樹(shù)脂壽命，存水箱中的水需控制在浮漂以下。
使用完畢后續(xù)關(guān)閉好總電源，關(guān)閉原水進(jìn)水閥和超純水出水閥，防止自來(lái)水和空氣倒流回過(guò)濾設(shè)備內(nèi)損壞設(shè)備。
超純水，是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換單元、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC（Total Organic Carbon，總有機(jī)碳）裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.2MΩ*cm(25℃)。
